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2026-08-21
TH511的測試頻率覆蓋至2MHz,高頻段的校準與低頻段不同。本文講清高頻LCR校準的標準器選擇、校準項目和核驗要點。
TH511的測試頻率範圍是1kHz~2MHz。送校時,校準機構需要覆蓋這個頻率範圍,尤其是1MHz和2MHz這兩個高頻點。低頻段的LCR校準規範通常隻覆蓋到10kHz或100kHz,高頻段的校準需要不同的標準器和校準方法。

高頻LCR校準使用的標準器與低頻段不同。低頻段常用標準電容箱和標準電阻箱。高頻段需要使用高頻標準電容、高頻標準電感和高頻標準電阻,這些標準器的寄生參數經過嚴格控製,在MHz頻段下仍能保持準確的阻抗值。
校準機構需要具備覆蓋2MHz頻率的標準器。送校前與計量機構確認其校準能力範圍。
TH511的校準項目包括:測試頻率準確度、電容示值誤差、測試電平準確度、直流偏置示值誤差。
測試頻率準確度用頻率計測量儀器輸出的交流信號頻率,按校準點核對。電容示值誤差用高頻標準電容在多個頻率點下驗證。測試電平準確度用高頻功率計或高頻電壓表測量。直流偏置示值誤差用數字多用表測量VGS和VDS的輸出電壓。
高頻段的校準對測試夾具和線纜的要求比低頻段高。測試線纜的長度、阻抗匹配和屏蔽特性都會影響高頻測量結果。校準機構通常會使用專用的高頻測試夾具,並執行開路/短路補償。
TH511支持開路OPEN、短路SHORT和負載LOAD校準。送校前建議先執行開路/短路校準,將儀器自身狀態調到正常水平。
校準項目 | 校準標準器 | 核驗要點 |
測試頻率準確度 | 頻率計 | 覆蓋1kHz~2MHz,含1MHz點 |
電容示值誤差 | 高頻標準電容 | 多個頻率點,含2MHz |
測試電平準確度 | 高頻功率計/電壓表 | 常用測試電平點 |
VGS偏置示值 | 數字多用表 | 0~±40V |
VDS偏置示值 | 數字多用表 | 0~±200V |
一是送校前與計量機構確認校準方案覆蓋1kHz~2MHz全頻率範圍。二是要求校準報告中各頻率點的電容示值誤差數據分項列出。三是確認校準機構使用的高頻標準器在有效期內。四是保留校準證書,在產線品質管理或客戶審核時引用。
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